1月23日 14:00开播 | 手持式X荧光光谱仪在涂镀层成分及测厚分析中的应用
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能量色散X射线荧光光谱分析法可以应用于测量镀层厚度,该分析方法具有非接触、非破坏性、测量快速特点,已经广泛应用在金属表面处理,机械加工,电子、航空航天、石化、新能源等诸多行业。
本次讲座针对推出的全新型X射线荧光光谱仪产品,我们将讲解SPECTRO手持式X荧光光谱仪在涂镀层测厚领域的一些典型应用。并介绍X射线荧光光谱分析法基础理论,简要分析能量色散X射线荧光光谱分析方法的工作原理及其在镀层厚度测量中的应用技术。
1月23日
14:00
1
朱小平
中国计量科学研究院
副研究员
X荧光光谱分析法在镀层厚度测量中的应用
(镀层厚度测量及量值溯源方法)
副研究员,国家一级计量标准考评员,一级注册计量师,国家量具量仪标准化委员会委员。主要研究方向为膜厚计量及膜厚标准制造。
1988年毕业于中国计量学院几何量计量与测试专业,同年入职中国计量科学研究院几何量所精测室,一直从事精测量仪计量校准及相关测量技术的研究,负责建立和维护包括镀层膜厚标准装置、检定光学仪器标准器组等10项计量标准,作为主导实验室组织了亚太地区(APMP)镀层膜厚比对、国内自支撑膜膜厚比对和多项国内能力验证,负责包括高精度三维螺纹测量仪计量溯源技术研究、线光谱共焦传感器研制等国家重点研发专项课题,高精度大口径平面度测量暨平面度基准能力提升、自支撑薄膜厚度测量及硅片三维形貌轮廓仪研制等课题项目,参与制定《直角尺》等国家标准,作为第一或主要起草人制定修订的规程规范包括《读数测量显微镜检定规程》、《JJF1306-2011X射线荧光镀层测厚仪校准规范》、《JJF1707-2018电解式(库仑)测厚仪校准规范》、《光谱共焦测量仪校准规范》、《硅片三维轮廓测量仪校准规范》等。
报告摘要:
基于电子技术的发展和镀层测量广泛应用,介绍X荧光光谱分析法的测量原理及相关测量仪器;分析金属镀层膜厚的测量方法和镀层厚度测量仪器校准技术,我国膜厚计量溯源方法和相关技术标准。
2
潘力
工程师
手持式X荧光光谱仪在涂镀层成分及测厚分析中的应用
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