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“高纯有机试剂中无机杂质检测法”助力集成电路与生物医药

2019-12-02 17:00:26  来源:仪器网整合 浏览量:2183次
【导读】上海市计量测试技术研究院承担的总局科技计划项目“HR-ICPMS测试高纯有机试剂中无机杂质检测方法与应用研究”通过了国家市场监督管理总局科技和财务司组织专家的验收。

标准化是指在经济、技术、科学和管理等社会实践中,对重复性的事物和概念,通过制订、发布和实施标准达到统一,以获得秩序和社会效益。标准化建设是制度化的形式,可运用到生产、开发设计、管理等方面,是一种非常有效的工作方法。

近日,上海市计量测试技术研究院承担的总局科技计划项目“HR-ICPMS测试高纯有机试剂中无机杂质检测方法与应用研究”通过了国家市场监督管理总局科技和财务司组织专家的验收。

HR-ICPMS测试高纯有机试剂中无机杂质的方法,检出限达到0.1µg/kg,线性相关系数大于0.999,精密度小于5%,耐用性小于10%,可满足对高纯有机试剂的检测要求。

图2.jpg

正超净高纯试剂是集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造过程中的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蚀。

项目成果的应用与推广将加快我国高纯试剂标准化建设的步伐,为提升高纯试剂特别是集成电路和生物医药用高纯试剂质量提供技术支撑。

高纯试剂

为化学试剂的一种分类名称。通常应用于,例如针对色谱使用的色谱纯试剂、针对光谱使用的光谱纯试剂。此外,电路、液晶等领域都有各自行业标准的高纯试剂。但是高纯试剂通常不使用在分析纯试剂使用的领域,如配制标准溶液、滴定剂等,高纯的单质例外。不同行业使用的高纯试剂有各自的标注方式,通用的标注是用9的数目来表示。例如,纯度为99.999%,含五个九则表示为5N;纯度为99.995%,含四个九一个五,表示为4.5N。

一般杂质检查

对于一般杂质的检查,《中国药典》规定了氯化物、硫酸盐、硫化物、硒、氟、氰化物、铁盐、重金属、砷盐、铵盐以及酸碱度、澄清度、溶液的颜色、干燥失重、水分、炽灼残渣、易炭化物、有机溶剂残留量等项目的检查方法及限度。

无机杂质与有机杂质

1、无机杂质包括:试剂、配位体、催化剂、重金属及其他残留重金属、无机盐、其他杂质(如过滤介质,活性炭等。)

2、有机杂质包括:起始原料、副产物、中间体、降解产物、试剂、配位体、催化物等。

杂质的分析方式:

容量分析法、重量分析法、比色法、比浊法、光谱法、纸层析法、色谱法、气相色谱法、薄层色谱法、高效液相色谱法、紫外分光光度法、毛细管区带电泳法、高效毛细管电泳法等。


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标签:高纯有机试剂 , 无机杂质检测 , 生物医药 , 集成电路 , HR-ICPMS测试
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