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对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。3精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。4适用范围宽有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品Z小流量范围可达0~5sccm,Zda流量范围可达0~200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~1**%量程比为--50:1,因此在很多领域得到广泛应用。- 2004-07-16 10:28:51
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