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- 【导读】 上海自动化仪表一厂扩散硅压力变送器采用半导体硅作感压元件,硅半导体材料具有压阻效应,在压力作用下,硅晶格间隙发生变化,导致载流子迁移率的改变,从而引起电导率变化。 上海自...
上海自动化仪表一厂扩散硅压力变送器采用半导体硅作感压元件,硅半导体材料具有压阻效应,在压力作用下,硅晶格间隙发生变化,导致载流子迁移率的改变,从而引起电导率变化。
上海自动化仪表一厂扩散硅压力变送器采用半导体硅作感压元件,硅半导体材料具有压阻效应,在压力作用下,硅晶格间隙发生变化,导致载流子迁移率的改变,从而引起电导率变化。对于半导体电阻体,当机械变形时,电阻率的相对变化率远大于外形尺寸L、A的相对变化率,其电阻变化率主要是压阻效应造成,当半导体压阻片与弹性元件处于一体,受压而发生同一应变时,应变量c与被测压力p成正比,说明半导体压阻片的电阻变化率与被测压力成正比,由此可测出压力的变化。当被测压力(差压)在全量程范围内波动时(相应压敏电阻变化量为△R),变送器输出统一信号为4—20mA。
上海自动化仪表一厂扩散硅压力变送器采用IC(集成电路)技术直接在硅膜上扩散形成应变测量桥路元件。因此体积可做得很小。扩散硅压力变送器具有精确度高,直接输出直流信号,线性度好,适用温度范围广,重量轻,体积小,结构简单等特点,可用于静压、动态压力测量。- 2004-07-17 14:27:07
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