Varian检漏仪的典型应用

Varian检漏仪的典型应用Varian检漏仪的典型应用Varian检漏仪的典型应用

1 生产零件和附件的质量控制

漏眼的检测和定位在许多产品的生产过程中极为重要，从单个元件、组件到整个系统都是 必不可少的。多数情况下，确定漏眼的大小及泄漏率与确定漏眼位置同样重要。无论是需要定性或定量测试，我们的检漏仪都有助于保证您零件或附件的泄漏完整性。 实例包括： 真空零件和组件

❑密封电子设备包装

❑阀门和歧管

❑穿通装置/玻璃与金属密封件

❑真空容器和系统 高压零件和组件

❑空调和制冷设备

❑散热器、热交换器和冷凝器

❑制动器、燃料和液压管道

❑油箱

❑食品储存柜和包装

❑可植入体内的YL设备

❑高纯度管道

2 系统维护

各类工厂的许多真空加工工具都需要进行不定期的检漏。 这应该作为预防性维护计划的一部分，或在发生意外故障时实施。任一情况下的停机时间都会缩至*短。 一部设计精良、性能可靠、启动迅速的检漏仪是*大程度延长生产工具正常工作时间的基本保障。 Varian VS 系列便携式检漏仪推动了工业发展。 应用实例如下： 真空加工设备或工具

❑真空炉

❑真空涂镀装置

❑光束线

❑电子束和离子束处理设备

❑分析仪器

❑半导体加工工具

❑激光加工设备 高压系统

❑电厂

❑地下储藏设施、电缆和管道

❑高纯度气体处理系统

❑生物反应器和发酵池

❑液化气生产设施

❑燃料箱和囊

3 系统集成检漏

大型复杂系统的制造商可能选择将元件检漏仪集成在系统中，以便于实时维护系统的泄漏 完整性，从而为客户提供更多价值。Varian 990CLD 和 990dCLDII 提供必要的元件，可将 强大的检漏功能灵活地集成在大型系统中。 实例如下：

❑半导体加工设备

❑PVD/CVD 设备

❑电子束和离子束处理设备