HPGP-101-C高压气体探头
高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头为在线压力下的工艺气体提供可靠的在线污染监测。HPGP-101-C高压气体探头和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配，它可以应用于多种活性气体监测。HPGP-101-C高压气体探头会在影响产量之前，加快工艺气体分配系统的资格确认，监测气体中的粒子。HPGP与粒子数据系统、以太网(pds-e)配对，收集并报告由探测器捕获的数据。
特点
安全保护壳
氧气与氢气兼容性
0.1SCFM下，灵敏度为0.1μm
8个粒子通道
管道压力从40到150psig
被动式激光源
并行处理阵列检测器系统
优点
核实粒子质量
检测工艺异常
量化系统更改的影响
提供精确粒径
使用 Facility Net软件来进行全面的数据存储、管理、报告和警报
被动式激光源设计只需极少的维护
净化的惰性气体确保安全
样本气体一旦泄漏，容器立刻终止电源
应用
气体分布系统的资格确认
工艺气体监测
活性气体监测
