Chem 20™ 化学式粒子计数器
jian端的微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品，该粒子计数器需要经过高度过滤，适用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化学式粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度，是目前灵敏度zui高的高纯度工艺化学品粒子传感器。
来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明，与其竞争产品相比，具有20nm灵敏度的PMS Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大，数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具，在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前，它使设备和工艺工程师能够快速检测并描述化学颗粒源。
特点
新增离线采样功能
先进的激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm
车载化学流量计用于设定样品流量
di一个能针对低和高折射率化学品进行优化的颗粒计数器，以提高产品性能：
Chem 20传感器，用于具有较低折射率的化学品
Chem 20-HI传感器，适用于硫酸和其他高指数化学品内部泄漏检测会在内部化学品泄漏时提供报警
低流量检测器和报警器，以确保数据一致
宏观气泡探测器用于保护传感器性能
本地数据显示
优点
实时检测20 nm PSL和9 nm Au微粒
检测影响良率的粒子（竞争技术无法达到）
在扫描表面或得到数据之前，快速响应粒子偏移
优化化学品输送系统，覆盖从装卸码头到加工点的整个过程
改善样本的数据统计，加强过程工艺控制
针对不同洁净度的产品，使用两种视图模式优化仪器操作，拓展产品应用空间
传统数据采集系统能够灵活通信
便捷的在线和离线20nm监测
应用
化学输送系统内的实时粒子监测
流程监控点
化学包装操作监控
化学过滤器性能和效率描述
化学处理部件的性能测试
化学品质量验证
可用的配件
Facility Net软件
Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案，包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器，以及各种第三方产品。
液体安装套件
与在线应用一起使用，液体安装套件包括一个 Flaretek®扩口工具，25英尺又1/4英寸氟烷氧基烷烃管子和阳螺纹接头
