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355nm大功率脉冲激光器

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详细介绍


激光器特点


l 长期工作稳定性高

l RS232控制,外部GATE,TRIGGER控制

l 支持PWM功率控制

l LD模块可现场更换

l TEM00基模输出(M2<1.3)

l 体积小,结构紧凑

l 重复频率30kHz-100kHz可调 



应用范围


l 薄膜蚀刻

l 材料微加工

l 微孔加工

l 晶圆切割

l 科学研究等


l 激光标记

技术参数

型号

RM355Q-3W

波长

355nm

功率

3W@30KHz

单脉冲能量

100μJ@30kHz

频率

30~100kHz

脉宽

<20ns@30KHz

光斑模式

TEM00 (M2<1.3)

光束直径

0.5±0.1mm

功率稳定性

<3% RMS over 8 hours

脉冲稳定性

<3% RMS over 10mins

光点稳定性

<50μrad

光束发散角

<2mrad (full angle)

光斑圆度

>90%

控制方式

RS232, Gate, Trigger

制冷方式

Air-cooling

偏振方向

Horizontal

偏振比

>100:1

环境温度

15°C ~ 35°C

相对湿度

10% ~ 80%(无结露)

预热时间

<15mins

工作电压

90V ~ 260V



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