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日本Elionix 电子束曝光电子束直写机ELS-F125
- 品牌:日本伊领科思
- 型号: ELS-F125
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-04-23 10:56:12
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
日本Elionix 微细加式电子束曝光电子束直写机ELS-F125/F100/HS50
ELS-F125是Elionix推出的世界上首台加速电压达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)
ELS-F125具有以下优点:
l 。超高书写精度
- 5 nm 线宽精度 @125 kV
- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应小化 @125 kV
2. 大通量、均匀性好
- 宽视野书写:500um视场下10 nm线宽
- 高束流下电子束直径依然很小,大通量而不影响分辨率,2 nm电子束直径@1 nA
3. 界面用户友好
基于Windows系统的CAD和SEM界面:
-简单易用的图案设计功能
-易于控制的电子束条件
二、主要功能
2.1 主要应用
纳米器件的微结构
集成光学器件,如光栅,光子晶体等
NEMS结构,复杂精细结构
光刻掩模板,压印模板
2.2 技术能力
三、应用
- 产品优势
- 日本Elionix 微细加式电子束曝光电子束直写机ELS-F125,是Elionix推出的世界上首台加速电压达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。
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