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MLT-PT90涡轮分子泵机组

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详细介绍

涡轮分子泵组MLT-PT90系列是米立特公司新型的组合式分子泵,能产生5×10-8mbar以上的真空度,同时具有使用简单可靠的特点,被各地的用户广泛使用。它的主要特点如下:
• 前泵与分子泵合为一体,不需要再另接前泵。
• 前泵采用干式运行的隔膜泵,使整套设备免维护,干式运行,体积小,重量轻。
• 自动测量前泵产生的真空压力并自动启动分子泵,不需要附加装置和人为控制,前泵与分子泵的配合完全自动化。
• 配有给容器充气的充气开关。
• 当达到一定的真空压力后,可选择自动关闭前泵,以节省电源,增加设备的使用寿命。
• 采用自动空气冷却。
• 结构特别紧凑,性能可靠。
• 操作特别简单,只用一个总开关便可开关涡轮分子泵组。

技术参数:

DescriptionMLT-PT90i/DIVAC 3.0MLT-PT90i/Ecodry 25 plus
Turbomolecular pump TURBOVAC 90iTURBOVAC 90i
Fore vacuum pump(Dry)  DIVAC3.0   Ecodry 25 plus
High vacuum connectionDN 63 ISO-K/CFDN 63 ISO-K/CF
Turbopump Operating speed7200rpm7200rpm
Pumping speed for N2/H290I/s  /  78I/s90I/s  /  78I/s
UItimate pressure63 ISO-K:<8×10-8mbar  63CF:<5×10-10mbar63 ISO-K:<8×10-8mbar  63CF:<5×10-10mbar
Fore pumping speed3.0 m³/h25 m³/h
Mains supply230±10% V230±10% V
Number of gauges,max.22


产品优势
涡轮分子泵组MLT-PT90系列是米立特公司新型的组合式分子泵,能产生5×10-8mbar以上的真空度,同时具有使用简单可靠的特点,被各地的用户广泛使用。它的主要特点如下:
• 前泵与分子泵合为一体,不需要再另接前泵。
• 前泵采用干式运行的隔膜泵,使整套设备免维护,干式运行,体积小,重量轻。
• 自动测量前泵产生的真空压力并自动启动分子泵,不需要附加装置和人为控制,前泵与分子泵的配合完全自动化。
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