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康帕因 4通道质量流量控制系统MFC-4Z
- 品牌：康帕因
- 型号： MFC-4Z
- 产地：合肥
- 供应商报价： 面议
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合肥康帕因设备技术有限公司
更新时间：2024-04-17 14:19:38 -
企业性质生产商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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联系方式：刘经理0551-65128841
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- 详细介绍
设备描述：
MFC-4Z是一款4路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜zui大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将设备置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个7"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
技术参数
名称
双通道
三通道
四通道
五通道
质量流量控制器
工作温度：5~45ºC
zui大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用工作温度：5~45 ºC
zui大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用工作温度:5~45 ºC
zui大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用工作温度: 5~45 ºC
zui大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制输入电源
AC 220V/50Hz单相
功率
23W
PLC触摸屏
· 各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上
· RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制
机械压力表
· 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接
· 量程:-0.1~0.15 MPa
针阀
316 不锈钢
通气管道
· 内部连接管道为Φ不锈钢管
· 外部通气管道为Φ聚四氟管
混气罐
Φ80X120mm
截止阀及配件
·316不锈钢针阀
Φ6mm 不锈钢管
外形尺寸
600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)
质量认证
CE认证
质保期
一年质保期，终身维护
- 产品优势
- MFC-4Z是一款4路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜ZD可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将设备置于移动柜上以节约空间。
