国仪量子扫描电子显微镜SEM3000S

一、扫描电子显微镜SEM3000S产品概述：

扫描电子显微镜SEM3000S 是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。可用于观察纳米级的微观结构，放大倍数可达到 300000 倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。基于优秀的电子光路设计及新型聚焦系统，其分辨率轻松优于 3 nm。在 100 mm 全自动五轴样品台的配合下，是您科研及新材料研发的得力助手。

二、扫描电子显微镜SEM3000S产品参数：

扫描模式

行扫：2 ms - 80 ms

帧扫：0.4 s - 160 s

快扫模式：512x512像素（可选256x256像素）

观察模式：1024x1024像素（三档速度）

拍照模式：4096x4096像素（三档速度, 可选1024x1024）

样品台

X、Y、Z、R、T 五轴电动样品台

X：120 mm；

Y：115 mm；

Z：65 mm；

R：360°；

T：0° 到+90°

真空系统

主泵：涡轮分子泵

前级泵：旋片式机械泵

系统极限真空度：

5 x 10^-4Pa（涡轮分子泵）

安装要求

电源：AC220 V；50 Hz;2KVA

地线：独立地线一条，小于10Ω

温度：15 ℃-30 ℃

湿度：≤70%

地面震动：≤5 μm/sec

交流磁场：≤0.3 μT

门宽：≥900 mm

探测器

二次电子、背散射电子（选配）、X能谱仪（选配）

外形尺寸和重量

主机  ：700（W）x750

D）x1600（H）；160 kg

三、扫描电子显微镜SEM3000S应用案例：