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英国MICHELL Pura高纯气露点变送器
- 品牌:英国密析尔
- 型号: Pura
- 产地:英国
- 供应商报价: 面议
- 北京华仪通泰环保科技有限公司 更新时间:2024-04-11 16:06:46
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企业性质一般经销商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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联系方式:王经理400-901-1718
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- 详细介绍
仪器详情
英国MICHELL Pura高纯气露点变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的初个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
英国MICHELL Pura高纯气露点变送器产品简介:
在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的初个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
英国MICHELL Pura高纯气露点变送器产品特点:
测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)
测量稳定,重复性好
高度集成的采样装置
模拟和数字输出
安装简便
VCR 过程接口
设计紧凑小巧
显示/报警单元可选
仪器参数
我们会努力按照原厂技术参数翻译编辑,如技术参数中英文有差异,以英文参数为准。英国MICHELL Pura高纯气露点变送器技术参数:
传感器
传感器类型
密析尔陶瓷湿度传感器
量程
-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
精度
±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)分辨率
0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C压力
低至10-9 torr; 大到24 MPa
气体流量
1 ~ 5 Nl/min
电气
电源
通常 24 V DC, 低至10 V ~ 高到28 V , 大电流 25 mA
输出
4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C
(标配提供)
大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)输出出错状态
标准输出出错信息如下: 23mA=传感器故障; 20mA=超上限; 4mA=超下限
机械性能
传感器套筒
不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光
气路连接端口
Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口安装配置
Premium 或 OEM 型: 120.00mm长, 气路端口的端面密封.
无需预留管路空隙;
底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔,斜对面横竖间距均为 20 x 20mm;
Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中。尺寸
Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm重量
Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g包装
Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装
所有选配件: 独立包装运输
Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作
测量原理: | 镜面式 | 仪器种类: | 台式 |