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科幂仪器 单蒸发皿程控镀膜仪

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详细介绍
单蒸发皿程控镀膜仪
 
基于客户需求设计的一款针对电极制备和有机物发光LED的镀膜设备,较常规产品,该产品新增旋转样品台和程序控温功能。精确控制温度200℃-1500℃,较大可蒸镀直径50mm薄膜样品,可用于制备金属薄膜和有机物薄膜。
 
产品特点
光洁真空腔室:采用直径210mm石英腔室,易清洁和放入样品;
旋转样品台:可获得更均匀的薄膜样品;
钨丝加热:采用特制钨丝加热器,较高温度可达1500℃;
真空:内置分子泵机组,可获取更高真空;
自动/手动模式:控温模式可选,手动加程序控温可随意选择。
 
技术参数:
 
项目/型号ECH - 1500 -Ⅰ
较高温度1500℃(短期)
长期使用温度1450℃
控温方式手动、30段程序控温;
样品台转速30rpm
加热形式钨丝
蒸发源数量单个(其他可定制)
进气口 φ6mm卡套,可通入惰性气体保护;
真空极限真空5.0*10-5torr
较大功率1.5kW
加热较大电流15A
外形尺寸750*600*1350mm


产品优势
基于客户需求设计的一款针对电极制备和有机物发光LED的镀膜设备,较常规产品,该产品新增旋转样品台和程序控温功能。精确控制温度200℃-1500℃,较大可蒸镀直径50mm薄膜样品,可用于制备金属薄膜和有机物薄膜。
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