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纳米表面轮廓仪
- 品牌:昊量/auniontech
- 型号: IMOS
- 产地:徐汇区
- 供应商报价: 面议
- 上海昊量光电设备有限公司 更新时间:2024-04-17 15:27:18
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企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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- 详细介绍
纳米表面轮廓仪
IMOS纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征,在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求,包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
IMOS光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓方面提供了强大的通用性。有了该系统,它可以方便快捷地测量各种表面类型,包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯。所有的测量都是无损的,快速的,不需要特殊的样品准备。纳米表面轮廓仪系统的核心是部分相干光干涉技术,它提供亚纳米精度测量更广泛的表面比其他商业可用技术。
IMOS 纳米表面轮廓仪提供了不同的应用程序的特殊价值,如平直,粗糙度,波浪形,台阶高度等等。
IMOS 纳米表面轮廓仪配备了一个变焦头,可以填充离散变焦光学定制的系统。样本分段配置范围从完全自动化到完全自动化的编码行程。IMOS 纳米表面轮廓仪提供高精度测量,易于使用,快速测量,及极具吸引力的价格,使其成为多功能3D光学轮廓仪的理想选择。
纳米表面轮廓仪主要优点:
纳米模式下的Z轴分辨率:
~ 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜)
~ 0.3um微地貌模式下
外形紧凑;
快速响应;
抗外部振动;
测量过程自动化程度高;
特殊的用户友好的界面;
高质量的图形界面,以工作与多计划三维表示的测量结果;
广泛的可能性配置的显微镜,以各种形态-逻辑的测量表面;
能够工作在两种模式:微浮雕和纳米浮雕;
独特的存储系统和测量结果的系统化。
在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm硅晶体表面的阶地,高度为0.314nm在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm
微起伏模式下的测量结果
IMOS纳米表面轮廓仪组成
光电探测器*
矩形ccd-1392*1040 px光源 *
LED (λeff = 630 nm)显微物镜*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不变压电扫描振镜 位移台
1d (Z) range 50 mm
2d (XY) range 75x50 mm
控制器 CCD-相机抓帧器
位移台控制器
设备控制器
硅晶体表面的阶地,高度为0.314nm 计算机 软件 Software for working with IMOS
System / MS Windows
认证口径,标称高度值为101nm±3% * – 按客户需求 微地貌模式下的测量结果
技术指标
测量区域
0,4x0,3 mm2 (for 20X)像素尺寸
0,3 μm (for 20X)横向分辨率
Not worse 1 μm测量模式 微地貌模式
微起伏模式
认证口径, 厚 40 ± 1,2 μm Z轴分辨率 微地貌模式 ~ 0,3 μm
微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror)
测量范围 微地貌模式 up to 50 mm
微起伏模式 up to 20 μm
测量速度 微地貌模式 ~ 4 μm/s
微起伏模式 ~ 20 μm/10s
衍射元件, 厚 3,7 μm - 产品优势
- IMOS纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征,在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求,包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
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