尼康 iNEXIV VMA系列选配软件

iNEXIV VMA系列选配软件一、图象文件合成软件___NEXIV EDF/Stitching Express

该软件主要有Z轴方向的景深扩展（EDF）和XY面图象拼合（Stitching Express）两部分功能。图象的获取可以利用iNEXIV VMA AutoMeasure进行图片的自动拍摄来完成。

基本功能：

EDF合成图例

通过在NEXIV VMR AutoMeasure上的设置，可以自动完成图象合成所需图片的大量拍摄；

从沿Z轴方向拍摄的多张图片中抽取图象信息，zui后合成为一幅超越物镜景深的立体图象（EDF功能）；

从XY方向拍摄的多张图片中抽取图象信息，zui后无缝地拼接为一幅大的平面图象（Stitching Express功能）；

可以进行图象文档管理。

二、二维轮廓形状分析与CAD读取软件___ VMA Profiler/CAD Reader该软件有两部分功能组成，一是CAD数据的读取，二是进行轮廓比对以及形状测量。使用该软件可以测量并分析那些用普通的尺寸测量手段所无法检测的二维轮廓形状。与使用轮廓投影仪或测量显微镜时的传统图片比对法相比，该软件可以进行数据的定量分析，所以它所提供的信息量更大，测量的准确度也更高。CAD读取功能所支持的CAD格式主要有DXF、IGES、Gerber 等。形状评估功能

在显示器上以图解方式显示测量结果与公称轮廓形状之间的偏差，或进行打印，以方便评估。

形状偏差自动计算：轴向，或法向；

轮廓形状列表；

轮廓形状绘图；

建立公称轮廓形状：
既可以通过键盘输入建立，也可以从CAD 直接导入，还可以把实际测得的轮廓形状转换为公称轮廓。

形状边界适配____偏差优化功能执行本功能可以按照测量结果与公称轮廓形状之间的偏差最小的条件，完成被测轮廓与公称轮廓的形位匹配，并拟合出一条评定轮廓中线。即使两者所处的坐标系不同，依靠此功能轮廓形状偏差的评定依然可以简单地完成。轮廓几何形状测量功能可以测量的几何要素主要有：点、线、圆、距离、角度等。三、CAD脱机编程软件___VMA Virtual AutoMeasure

CAD 数据可以被脱机测量编程软件__Virtual AutoMeasure所读取，脱机测量编程的操作步骤与联机测量编程的操作步骤相类似。由于大量的测量程序语句可以在另外一台装有 VirtualAutoMeasure 的电脑上编制完成，所以 NEXIV 系统能够专注于自动测量。

支持 IGES、DXF、DMIS、NC 文件、Gerber 以及Excellon等；

具有多种CAD要素的指定方式，便于自动编程；

可利用CAD窗口控制工件的模拟移动，操作风格、步骤与 NEXIV AutoMeasure 相类似；

在测量编程过程中，允许使用各种事先编制好的宏，如：测量线宽的宏、多重图案搜索的宏等。

五、报告生成软件___VMR报告生成器