美国KLA MicroXAM-800 光学轮廓仪

MicroXAM-800 光学轮廓仪

    MicroXAM-800是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪，采用相位扫描干涉技术（PSI）对纳米级特征进行测量，以及采用垂直扫描干涉技术（VSI）对亚微米至毫米级特征进行测量。 MicroXAM-800的程序设置简单灵活，可以进行单次扫描或多点自动测量，适用于研发和生产环境。

产品描述

    MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。MicroXAM进一步扩展了这些技术，它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。

    MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 MicroXAM的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。

主要功能

l  针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量

l  SMART Acquire简化了采集模式并采用已知zui佳的程序设置的测量范围输入

l  Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面

l  XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描

l  使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性

l  利用已知zui佳技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法

主要应用

l 台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度

l  纹理：3D粗糙度和波纹度

l  形式：3D翘曲和形状

l  边缘滚降：3D边缘轮廓测量

l  缺陷复检：3D缺陷表面形貌