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EVG 805 脱胶系统
- 品牌：奥地利EVG
- 型号： EVG 805
- 产地：奥地利
- 供应商报价： 面议
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北京亚科晨旭科技有限公司
更新时间：2024-04-18 09:50:26 -
企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
- 同类产品临时键合解键合、Hybrid bond混合键合(13件)
联系方式：绍兵1826-3262536
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- 详细介绍
EVG 805 Debonding System
EVG 805 脱胶系统
薄晶圆脱胶
EVG805是半自动系统，用于剥离临时粘合和加工过的晶圆叠层，该叠层由器件晶圆，载体晶圆和中间临时粘合胶组成。 该工具支持热剥离或机械剥离。 可以将薄晶圆卸载到单个基板载体上，以在工具之间安全可靠地运输。
特征
开放式胶粘剂平台
脱胶选项：
热滑脱胶
脱胶
机械脱胶
配方控制系统
实时监控和记录所有相关过程参数
薄晶圆处理的独特功能
多种卡盘设计，可支撑zui大300 mm的晶圆/基板和载体
高形貌的晶圆处理
技术数据
晶圆直径（基板尺寸）
晶片zui大300 mm
高达12英寸的胶卷相框
组态
1个脱粘模块
选件
紫外线辅助脱胶
高形貌的晶圆处理
不同基板尺寸的桥接能力
设备咨询电话：182 6326 2536（微信同号）
- 产品优势
- EVG 805 Debonding System
EVG 805 脱胶系统
薄晶圆脱胶
EVG805是半自动系统，用于剥离临时粘合和加工过的晶圆叠层，该叠层由器件晶圆，载体晶圆和中间临时粘合胶组成。 该工具支持热剥离或机械剥离。 可以将薄晶圆卸载到单个基板载体上，以在工具之间安全可靠地运输。
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