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电子束直写系统 EBPG5150
- 品牌:德国Raith
- 型号: EBPG5150
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 北京亚科晨旭科技有限公司 更新时间:2024-04-22 09:42:19
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企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
- 同类产品微纳加工仪器设备-其他(39件)
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- 详细介绍
电子束直写系统 EBPG5150
自动化和高速度的电子束直写技术
电子束直写系统EBPG5150使用了155mm大小的样品台,采用跟电子束曝光机EBPG5200一样的通用光刻平台设计,对电子束直写应用进行了优化。它可以载入不同大小的样品,包括多片散片以及完整的硅片。
Improved Specifications
· Ultra-fast, low-noise pattern generator 125 MHz
· Extreme beam current up to 350 nA
· Excellent direct write performance with overlay accuracy of ≤ 5nm
00001. 高束流密度,热场发射电子枪可以在20、50和100kV之间切换
00002. 155mm的平台
00003. zui小曝光特征尺寸小于8nm
00004. 高速度曝光,可采用50或100MHz的图形发生器
00005. 在所有KVs加速电压下,可连续改变的写场大小,zui大可以到1mm
00006. GUI人机交互界面友好,简洁易用,适用于多用户环境
00007. 多项灵活可选择的配置,可以适用于不同应用的需求
可选的系统增强升级
EBPG5150可以选择不同的升级选项,以满足用户不同的技术和预算需求。让全世界的高校等研究类用户也可以使用这款非常先进、高自动化的电子束光刻系统。设备咨询电话:182 6326 2536(微信同号);
- 产品优势
- 电子束直写系统 EBPG5150,自动化和高速度的电子束直写技术