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CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列
- 品牌:CIF
- 型号: CPC-10
- 产地:承德
- 供应商报价: 面议
- 华仪行(北京)科技有限公司 更新时间:2024-04-23 09:08:34
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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- CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列 核心参数
- 详细介绍
产品特点:
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
◆ 石英真空舱,真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
◆ 采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
◆ HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆ 60 度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
◆ 顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。
◆ 采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
◆ 上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。
◆ 有效清洗面积大,可清洗最d直径 8 吋硅片。
◆ 安全保护,舱门打开,自动关闭电源。
技术参数:
型号
CPC-10
CPC-10plus
CPC-10M
CPC-10Mplus
射频电源
40KHz
13.56MHz
40KHz
13.56MHz
射频功率
0-600W
0-300W
0-600W
0-300W
匹配器
自动匹配
自动匹配
激发方式
电容式
电容式
气体控制
双浮子流量计
单路 MFC(可选两路)
舱体尺寸
L300xΦ215mm
L300xΦ215mm
舱体容积
10.8L
10.8L
舱体材质
不锈钢
不锈钢
有效处理尺寸
L300xW215mm
L300xW215mm
时间设定
9999 秒
9999 秒
真空泵
抽速 8m³/h
抽速 8m³/h
气体稳定时间
1 分钟
1 分钟
真空度
100pa 以内
100pa 以内
电 源
AC220V 50/60Hz 766/466W
AC220V 50/60Hz 752/452W
产品尺寸
L645xW550xH495mm
L645xW550xH495mm
包装尺寸
L750xW700xH720mm
L750xW700xH720mm
整机重量
55kg
55kg
- 产品优势
- CIF推出全新一代 CPC-10系列实验室型等离子体清洗设备, 颠覆传统等离子体清洗设备设计理念。具有较大的腔体尺寸和有效样 品处理面积, 使用成本低, 性价比高, 处理快速高效, 特别适合于大学, 科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
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自动化: | 自动 | 样品腔尺寸: | L300xW215mm |
样品腔容积: | 10.8L | 射频功率: | 40KHz/13.56MHz |