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奥地利EVG掩膜光刻机EVG610
- 品牌：奥地利EVG
- 型号： EVG610
- 产地：奥地利
- 供应商报价： 面议
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2024-04-23 10:56:12 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品奥地利EVG纳米压印机、光刻机、键合机(8件)
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- 详细介绍
- 产品优势
- EVG610是一款非常灵活的适用于研发和小批量试产的对准系统，可处理最大200mm之内的各种规格的晶片。EVG610支持各种标准的光刻工艺，例如：真空、软、硬接触和接近曝光；也支持其他特殊的应用，如键合对准、纳米压印光刻、微接触印刷等。系统中的工具更换非常简便快捷，每次更换都可在一分钟之内完成，而不需要专门的工程人员和培训，非常适合大学、研究所的科研实验和小批量生产。
