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准分子激光器：CLS 5000
- 品牌：俄罗斯Optosystem
- 型号： ：CLS5000
- 产地：俄罗斯
- 供应商报价： 面议
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深圳市科时达电子科技有限公司
更新时间：2024-04-17 07:58:50 -
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
准分子激光器：CLS 5000
准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
CLS 5000技术参数:
激光介质
ArF
KrF
XeCl
波长 (nm)
193
248
308
ZD脉冲能量 (mJ)
15
25
12
ZD重复频率 (Hz)
500
ZD平均功率 (W)
7.5
12.5
6
脉冲能量稳定度(sigma, %)
< 2
光斑尺寸 (VхH, mm)
12 х 3.5
12 х 4
12 х 4
光束发散角(FWHM, mrad, VхH)
2 х 1
脉冲持续时间 (FWHM, ns)
10 – 12
冷却方式
水冷
重量 (kg)
85
尺寸 (LхWхH, mm)
890 х 340 х 460
电源
220 V, 50-60 Hz, < 1000 VA
可选功能和附件：
可能配置1000和2000赫兹
CLS 5000主要特点：
非常高的光束指向稳定性
高重复频率
能量稳定性好
设计紧凑
内置能量控制
带磁转换发生器
应用：
布拉格光栅
无掩膜光刻
准分子材料加工
激光视力矫正
- 产品优势
- 准分子激光器：CLS 5000 准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
