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ZEP520A 电子束光刻胶
- 品牌:深圳科时达
- 型号: ZEP520A
- 产地:深圳
- 供应商报价: 面议
- 深圳市科时达电子科技有限公司 更新时间:2024-04-17 07:58:50
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企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
- 商品详情
超高分辨率电子束光刻胶:ZEP520A
特性
ZEP520A是一种有超高分辨率、耐干法蚀刻特性的非化学增幅(断链型)负性电子束光刻胶。是目前世界上性能最hao的电子束光刻胶之一,其优良的性能在行业内受到广泛的认可。
电子束光刻胶产品表
电子束光刻胶专用显影液
旋涂曲线
超高分辨率
ZEP520A分辨率高达 L/S=25nm/25nm(FT=50nm)
显影液:ZED-N50样品测评:用苯甲醚将ZEP 520 A-7稀释2.1倍
- 产品优势
- ZEP520A是一种高性能正电子束电阻,具有高分辨率、高分辨率敏感性和耐干腐蚀性。适用于各种电子束工艺。
仪器种类: | 在线 |