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ZEP520A 电子束光刻胶

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ZEP520A 电子束光刻胶 核心参数
仪器种类: 在线
详细介绍
商品详情

超高分辨率电子束光刻胶:ZEP520A


特性

ZEP520A是一种有超高分辨率、耐干法蚀刻特性的非化学增幅(断链型)负性电子束光刻胶。是目前世界上性能最hao的电子束光刻胶之一,其优良的性能在行业内受到广泛的认可。


电子束光刻胶产品表


电子束光刻胶专用显影液

  • Developer product lineup


旋涂曲线

Spin Curve


超高分辨率

ZEP520A分辨率高达 L/S=25nm/25nm(FT=50nm)
显影液:ZED-N50

样品测评:用苯甲醚将ZEP 520 A-7稀释2.1倍



 ZEP520A高解像性(2)


产品优势
ZEP520A是一种高性能正电子束电阻,具有高分辨率、高分辨率敏感性和耐干腐蚀性。适用于各种电子束工艺。
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