TS2000-HP Probe System 半自动化探针台测试系统

MPI的TS2000-HP半自动化探针台测试系统可提供8英寸及以下晶圆器件的高功率测量，先进的ShielDEnvironment™可提供低噪声和屏蔽的测试环境。
为高电压和大电流量测应用而设计
• 适合至高 10kV / 600A （脉冲）的晶圆高功率组件量测
• 提供载片下的高功率动、静态参数的测试
• 晶圆载物台表面镀金，小化接触电阻；真空吸孔优化，适合装载至薄 50 µm 的薄晶圆
• 可选配搭载 Taiko 晶圆载物台
• 提供抗电弧解决方案
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支援飞安低漏电值量测
• 温度量测范围 -60 °C to 300 °C

安全系统

采用可互锁的安全光幕，可通过互锁系统关闭仪器，保护用户免受意外高压冲击。

该系统具有后门，并由互锁保护，以提供简便的初始安全测量设置。

PI ShielDEnvironment™是一个高性能的微暗室屏蔽系统，可为超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

为了防止卡盘和压盘之间产生电弧，TS2000-HP卡盘门设计了ArcShield™。