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磁控溅射仪
- 品牌：北京博远微纳
- 型号： ETD-650MS
- 产地：北京
- 供应商报价： 面议
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北京意力博通技术发展有限公司
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企业性质
入驻年限第10年
营业执照
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- 详细介绍
配置参数如下：
2 仪器尺寸：600mm W x 450mm D x 750mm H
2 工作腔室：硼硅酸盐玻璃180mm Dia x 200mm H
2 真空系统： 涡轮分子泵，抽速为300L/s
前级机械泵：抽速为2L/s，带防返油电磁阀及油污过滤器2 真空测量：采用复合真空计监测真空
2 极限真空度: 优于5×10-5Pa
2 工作真空度：溅射真空度手动调整
2 工作气体：溅射工作气体:氩气
2 工作电压：0-800V
2 溅射电流：0-1000mA
2 靶材：ф60-80mm弱磁靶
2 电源：230V/50Hz(包括泵最大电流为6安培)
选配项：
气体质量流量计 冷水机
根据用户要求进行功能改装
