EVG40 NT光刻系统

EVG40 NT(独立工具)和AVM (HVM集成模块)能够测量光刻相关参数，如临界尺寸，以及焊接对正精度。
由于系统的高测量精度，可以验证是否符合严格的过程规范，并立即优化集成的过程参数。
凭借其多样化的测量方法，EVG40 NT可同时适用于大量制造过程，如纳米压印光刻或晶圆到晶圆键合。
作为一个应用示例，EVG40 NT完善了EVG用于高精度对准晶圆焊接的产品系列，作为可靠验证EVG GEMINI FB自动熔融焊接系统100纳米焊接重叠精度的记录工具。