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EVG105抗蚀处理系统
- 品牌：奥地利EVG
- 型号： EVG105
- 产地：奥地利
- 供应商报价： 面议
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深圳市科时达电子科技有限公司
更新时间：2024-04-22 22:17:17 -
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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联系方式：林建军0755-29852340
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- 详细介绍
可以在EVG105烘焙模块上执行软烘焙、曝光后烘焙和硬烘焙过程。受控的烘烤环境确保了均匀的蒸发。可编程接近销提供了抗蚀剂硬化过程和温度曲线的最佳控制。EVG105烘焙模块可同时处理多达300毫米的晶圆或多达四个100毫米的晶圆。
特征
独立烘焙模块
高达300毫米的晶圆尺寸或同时多达四个100毫米的晶圆
温度均匀性≤1°C @ 100°C，烘烤温度高达250°C
用于手动和安全晶片装载/卸载的装载销
烘烤定时器
基板真空(直接接触烘烤)
N2吹扫和接近烘烤0-1 mm距离的晶片到加热板可选
不规则形状的基底
技术数据
晶片直径(衬底尺寸) 最大300毫米 电炉 温度范围:≤250°C 手动调整升降销至所需的接近间隙
