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美国KLA G200纳米压痕仪

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详细介绍

KLA-Tencor 是半导体在线检测设备市场的供应商;

KLA-Tencor20183月从 Keysight Technologies 公司收购了行业的龙头产品-高精度原位微纳米力学测试系统-Nano Indenter G200和高精度微纳米拉伸系统-UTM T150

该力学设备的工厂是高精度力学测试系统的供应商,1983 年成功制造了首台商用Nano Indenter

该力学设备的工厂是业内拥有超过35年的Nano Indenter生产和研究经验的供应商,成熟的工艺保证了新一代 Nano Indenter G200具有极高的稳定性和可靠性。

该力学设备的工厂拥有广泛的顾客群,在高端力学测试系统领域内拥有超高的的市场占有率。

1.产品技术水平

KLA-Tencor 公司拥有最多的Nano Indenter的核心技术,包括已成为业界标准的连续刚度测量功能、接触刚度成像功能以及快速纳米压入测试技术等等;

KLA-Tencor公司的连续刚度测量功能已经成为薄膜、涂层、多相材料等样品检测最常用的的测试技术,并已经录入各种力学领域的国际标准和中国国家标准内。

KLA-Tencor 拥有超快压痕测试技术,可达到 压痕点/秒。


2.  特点和优势

     广受赞誉的高速测试选项可以和所有G200 型纳米压痕仪配合使用, 包括DCMII 和 XP 模块以及样品台

     快速进行面积函数和框架刚度校对

     精确和可重复的结果, 完全符合

ISO14577 标准

     通过电磁驱动, 可在无与伦比的范围内连续调整加载力和位移

     结构优化, 适合传统测试或全新应用

     模块化选项, 适合划痕测试, 高温测试和动态测试

     强大的软件功能, 包括对试验进行实时控制, 简化了的特殊测试方法的开发

第五代原位纳米力学测试系统

Nano Indenter G200

在微/纳尺度范围内的加载和位移构成精确的力学测试

应用

   半导体器件, 薄膜

   硬质涂层, DLC薄膜

   复合材料, 光纤, 聚合物材料

   金属材料, 陶瓷材料

   无铅焊料

   生物材料, 生物及仿生组织等等

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