-
-
优测高频探针台(90G以上)
- 品牌:深圳优测国芯
- 型号: DN4
- 产地:深圳
- 供应商报价: ¥ 100 (市场参考价:¥ 100)
- 优测国芯电子科技(深圳)有限公司 更新时间:2023-04-20 15:41:21
-
企业性质一般经销商
入驻年限第2年
营业执照已审核
- 同类产品探针台(13件)
-
为您推荐
- 详细介绍
产品简介:
DN系列探针台是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计,结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节,显微镜放大倍率高,操作方便。同时支持多种功能的升级,非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用。
产品优势:
显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。
卡盘同时具备快速和微调升降,便于样品和探针快速分离,也可以用于探针卡的扎针。
可升级性强,可升级 220G 高频,也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。
详细参数:
技术参数 产品型号
DN-4
DN-6
DN-8
DN-12
探针台本体
整机尺寸(mm)
550L*600W*700H
600L*650W*700H
650L*700W*700H
700L*750W*700H
重量
60kg
70kg
80kg
100kg
自适应减震系统
具备自适应减震系统 , 一定程度上可防止外界震动的干扰。
卡盘大小
4" ,360 度转动, 可微调
6" ,360 度转动 , 可微调
8",360 度转动,可微调
12",360 度转动,可微调
卡盘行程和精度
4"*4" , 精度 10um
6"*6" , 精度 10um
8"*8" , 精度 10um
12"*12 , 精度 10um
卡盘升降功能
Chuck可以上下快速升降 5mm 和微调升降 5mm , 精度 1 微米(使用探针卡的时候使用)
卡盘吸附方式
真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附 (适用于薄片)
背电极测试功能
具备 , 样品台电学独立悬空 , 带 4mm 香蕉头插口
针座平台
材质
U 型平台 , 镀镍 , 与探针座之间具备更强吸附力
大小
最多可放置4~6个探针座
最多可放置8~10个探针座
显示系统
显微镜成像系统
体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统
倍率范围
16X~100X/60X~420X/20X~4000X
显微镜行程
具备高刚性龙门架结构 , XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸 , 精度 1um
CCD 成像系统
200 万/500 万像素 ,帧率 60fps,带拍照/录像/测量功能
探针座
种类
DR/L-100m/V 和 DR/L-40m
X-Y-Z 行程
12mm-12mm-12mm
机械精度
0.7um/10um
夹具
漏电精度
10pA/100fA
接口形式
香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等
其它
选件
屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率
电力需求
220V/50HZ
- 产品优势
- (1)定制能力强,可搭配不同的主流网分
(2)chuck可以快速升降,便于更换样品
(3)高刚性龙门架,显微镜可以XYZ三轴移动,行程2英寸*2英寸*2英寸
(4)自适应减震系统
- 技术资料
-