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优测高频探针台(90G以上)

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详细介绍

产品简介:

DN系列探针台是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计,结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节,显微镜放大倍率高,操作方便。同时支持多种功能的升级,非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用。

产品优势:

显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。

卡盘同时具备快速和微调升降,便于样品和探针快速分离,也可以用于探针卡的扎针。

可升级性强,可升级 220G 高频,也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。

详细参数:

技术参数       产品型号

DN-4

DN-6

DN-8

DN-12

探针台本体

整机尺寸(mm)

550L*600W*700H

600L*650W*700H

650L*700W*700H

700L*750W*700H

重量

60kg

70kg

80kg

100kg

自适应减震系统

具备自适应减震系统 , 一定程度上可防止外界震动的干扰。

卡盘大小

4" ,360 度转动, 可微调

6" ,360 度转动 , 可微调

8",360 度转动,可微调

12",360 度转动,可微调

卡盘行程和精度

4"*4" , 精度 10um

6"*6" , 精度 10um

8"*8" , 精度 10um

12"*12 , 精度 10um

卡盘升降功能

Chuck可以上下快速升降 5mm 和微调升降 5mm , 精度 1 微米(使用探针卡的时候使用)

卡盘吸附方式

真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附 (适用于薄片)

背电极测试功能

具备 , 样品台电学独立悬空 , 带 4mm 香蕉头插口

针座平台

材质

U 型平台 , 镀镍 , 与探针座之间具备更强吸附力

大小

最多可放置4~6个探针座

最多可放置8~10个探针座

显示系统

显微镜成像系统

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统

倍率范围

16X~100X/60X~420X/20X~4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构 , XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸 , 精度 1um

CCD 成像系统

200 万/500 万像素 ,帧率 60fps,带拍照/录像/测量功能

探针座

种类

DR/L-100m/V 和 DR/L-40m

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

0.7um/10um

夹具

漏电精度

10pA/100fA

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率

电力需求

220V/50HZ


产品优势
(1)定制能力强,可搭配不同的主流网分
(2)chuck可以快速升降,便于更换样品
(3)高刚性龙门架,显微镜可以XYZ三轴移动,行程2英寸*2英寸*2英寸
(4)自适应减震系统
技术资料
产品直通车
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