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瑞士Powatec 12寸晶圆贴片机

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详细介绍

瑞士POWATEC公司P-300 型晶圆贴片机允许在单程中将薄膜粘合到晶圆/基板和框架上。在安装过程中,晶圆通过真空保持在抗静电玻璃料(碳)上。这种玻璃料在粘附过程中保护晶片表面并吸收任何污垢颗粒。使用橡胶辊,箔安装无气泡。使用切割装置,薄膜在框架上被切割并被薄膜卷的横向直径分开。

主要特点:

  • 将胶带和晶圆一次性安装到框架上,最大 300 毫米

  • 可以处理矩形基板、晶圆片以及凸块晶圆

  • 可加工厚度达 30 µ 的晶圆

  • 快速轻松地转换为不同的晶圆、框架和箔片类型

  • 紧凑、坚固的桌面设计

  • 安装和启动时间短

  • 运营成本低

  • UPH,安装晶圆/小时高达 80 片

选项:

  • 胶片框架转换套件 8"

  • 保护胶带卷绕机的自动卷绕装置 

  • 静电荷主动保护 (ASB)

  • 带储物空间的桌子,适用于洁净室

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