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瑞士Powatec 12寸晶圆贴膜机

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详细介绍

POWATEC L-300 手动层压机的独特设计允许一次性将粘性箔或 UV 箔层压到最大 300 毫米的晶圆上。在层压过程中,一个特殊的卡盘通过真空将晶圆固定在适当的位置。使用橡胶辊,箔安装无气泡。使用切割装置,薄膜在框架上被切割并被薄膜卷的横向直径分开。

主要特点:

  • 高达 300 毫米的晶圆尺寸

  • 带平面或不带平面的卡盘设计

  • 可调胶带张力

  • 快速轻松地转换为各种晶圆和箔片

  • 紧凑而坚固的桌子设计

  • 安装和启动时间短

  • 运营成本低

  • UPH,胶带晶圆/小时高达 80 片

选项:

  • UV胶带
    (PTW)保护胶带卷绕机的自动卷绕装置 

  • 静电荷主动保护 (ASB)

  • 带储物空间的桌子,适用于洁净室

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