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Panasonic 松下等离子清洗设备

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详细介绍


Panasonic 松下等离子清洗设备

PSX307等离子清洗设备

 

PSX307等离子清洗设备

应用领域:半导体晶圆工序的延伸以及引线键合、倒装芯片、塑封、底部填充。

设备特点:

1. 生产性、灵活性:扩大设备内室、传送轨道数可变、可连接多种搬运方式。

 

2. 产品追踪性:等离子放电监控、产品追踪功能。

 

在半导体领域的具体应用:

 

设备参数:

设备型号

PSX307

清洗模式

平行背散射法

放电气体

Ar(可选配O2)

基版尺寸

S型号:L 50mm * W 20mm To L 250mm * W 75mm

设备咨询电话:182 6326 2536(微信同号); 

产品优势
应用领域:在半导体晶圆工序的延伸以及引线键合、倒装芯片、塑封、底部填充。
设备特点:
1.生产性、灵活性:扩大设备内室、传送轨道数可变、可连接多种搬运方式。
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