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JEOL内置型等离子源 BS-80011BPG
- 品牌：日本电子
- 型号： BS-80011BPG
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2024-04-23 10:56:12 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品日本电子 JEOL 扫描电镜(80件)
联系方式：廖敬强0755-81776600
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- JEOL内置型等离子源 BS-80011BPG 核心参数
- 详细介绍
BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子源
安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术（离子镀），能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外，还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。
· 产品规格
最大放电输出
3.2kW (160V, 20A)
最大辅助输出功率
2kW (200V, 10A)
工作压力
8×10-3 ～ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 气氛)
放电气体(Ar)
8 ～ 20mL/分
适用控制电源
BS-92040CPPC
- 产品优势
- 日本JEOL产生高密度等离子体的内置型等离子源 BS-80011BPG，安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术（离子镀），能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外，还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。
| 电子枪: | 场发射 | 加速电压: | 详见资料 |
| 放大倍数: | 详见资料 | 分辨率: | 详见资料 |
| 抽真空时间: | 详见资料 | 真空度: | 详见资料 |
