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Candela 8420

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详细介绍

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产品介绍

Candela 8420晶圆检测系统可以检测不透明、半透明和透明晶圆上的表面缺陷和颗粒;其中包括玻璃、单面抛光(SSP)蓝宝石、双面抛光(DSP)蓝宝石表面颗粒和划痕;砷化镓(GaAs)和磷化铟(InP)的凹坑和凸起、滑移线、雾状表面均匀性;钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)和其他先进材料的缺陷。Candela 8420表面检测系统通过缺陷检测可实现化合物半导体的工艺监控(晶圆抛光、晶圆清洁、外延生长)。相对于单通道技术,其先进的多通道设计的灵敏度更高,分类准确率更高。


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主要功能

  • 在直径达50mm~200mm的不透明、半透明和透明化合物半导体材料上进行缺陷检测

  • 手动模式支持不规则晶圆扫描

  • 支持多种不同的晶圆厚度

  • 适用于检测颗粒、划痕、凹坑、凸起和污渍等宏观缺陷


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应用案例

  • 衬底质量控制

  • 衬底供应商比较

  • 入厂晶圆质量控制 (IQC)

  • 出厂晶圆质量控制 (OQC)

  • CMP(化学机械抛光工艺)/抛光工艺控制

  • 晶圆清洗工艺控制

  • 外延工艺控制

  • 衬底与外延相关分析

  • 外延反应设备供应商比较

  • 工艺设备监控


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工业用途

  • 光电技术,包括 VCSEL

  • LED

  • 通信(5G、激光雷达、传感器)

  • 其他化合物半导体


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系统选项

  • SECS-GEM

  • 信号灯塔

  • 金刚石划片器

  • 校准标准片

  • 离线软件

  • 光学字符识别 (OCR)


产品优势
Candela 8420是采用多通道探测技术的表面缺陷检测系统,可以在砷化镓 (GaAs)、磷化铟 (InP)、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石等不透明、半透明和透明化合物半导体材料晶圆上提供颗粒、划痕、凹坑、凸起和污渍的检测并根据规则对缺陷进行分类。Candela 8420表面缺陷检测系统采用专利的OSA(光学表面分析仪)架构,同时测量散射强度、表面形貌变化、表面反射和相位变化,对各种关键缺陷(DOI)进行自动检测和分类。在几分钟内实现全表面检测,并生成高分辨率图像和检测报告,输出缺陷分类和分布图。
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