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自动晶圆贴膜机STK-6020(减薄前)

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详细介绍

自动晶圆贴膜机STK-6020(减薄前)




自动晶圆贴膜机STK-6020(减薄前)规格:

晶圆尺寸:8”& 12”晶圆;

常规产品厚度:200~750 微米;

Bump 产品厚度:晶圆 200~400 微米;

                         凸块 50~200 微米;

晶圆翘曲:≤5mm; 

胶膜种类:蓝膜或者 UV 膜;

                宽度:240~340 毫米;

                长度:100 米;

                厚度:0.05~0.2 毫米;

贴膜原理:防静电滚轮贴膜;

滚轮温度:室温~80 摄氏度;

贴膜动作:自动拉膜和贴膜;

晶圆台盘:二合一特氟隆防静电涂层接触式台盘,或硅胶台盘台盘温度:室温~100℃;

装卸方式:晶圆手动放置与取出;

晶圆定位:通用标线/弹簧销钉;

控制单元:基于 PLC 控制,并带 5.7”触摸屏;

安全防护:配置紧急停机按钮;

电源电压:相交流电 220V,10A; 

压缩空气:5 公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5 立方英尺;

机器外壳:白色喷塑金属外壳;

体积:670 毫米(宽)*1180 毫米(深)*550 毫米(高); 

净重:85 公斤;







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自动晶圆贴膜机STK-6020(减薄前)
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