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高反形貌 TR020100A

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详细介绍
TR020100A
高反形貌
专为镜面自由曲面进行可靠的表面检测而研发设计,能可靠的检出肉眼不可见的反光部件的形状偏差和外观缺陷
产品功能
3D测量点云输出
点云匹配(测量点云与面型公式)
高度误差、斜率误差、曲率误差
表面缺陷:畸变(失真)、麻点、划痕等
高精度 微米级检测精度,可靠检测镜面和反射面的形状偏差和外观缺陷
高速度 采用偏折法测量,速度远快于接触式检测
应用灵活 可集成到生产线或搭配机械手使用,可在线和离线使用
可定制化 全部核心硬件

基本参数
测量范围 300mmX200mm 10°X10°(*) 工作距(器件到投影屏) 150mm
Z测量重复精度 <±3un(*) Z测量重复精度 <±3un(*)
分辨率(XY.Z) XY<200um;Z<0.2um 单次测量时间 <45S (*)
测量原理 相位测量偏折法 设备尺寸 81cmX67cmX100cm
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