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3轴机械臂_全轴采用AC伺服电机满足高速搬送
- 品牌：深圳衡鹏
- 型号： 3轴
- 产地：深圳
- 供应商报价： ¥ 1
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深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
更新时间：2023-04-23 17:22:59 -
企业性质生产商
入驻年限第8年
营业执照已审核
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- 详细介绍
3轴机械臂_全轴采用AC伺服电机满足高速搬送
采用AC伺服电机的3轴机械臂特点：
超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的性价比优势
机械手臂标准臂长:160mm, 200mm
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指
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衡鹏供应
4轴圆柱坐标洁净机械手臂/5轴真空水平多关节型洁净机械手臂
- 产品优势
- 超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求
