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2inch 超光滑超高反射率(>99.99%) 反射镜

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详细介绍

总览

环形激光陀螺仪组件或某些科学应用中的所谓超级镜需要具有极低损耗(即吸收和散射)的镀膜光学元件。这些反射镜还具有 R > 99.998% 和总损耗 < 10 ppm 的ZD反射率。

筱晓使用德国改进的 IBS 机器,能够在超抛光基材上生产涂层。机器和环境的清洁度在专用的超净室中保持,并在此进行广泛的基材预处理和后处理。

用于检查程序的测量设备,例如白光轮廓仪和高分辨率显微镜(高达 x 1000)已经到位。定制的腔衰荡设置允许以最多四位小数的精度确定反射并参考损耗。

位于耶拿的弗劳恩霍夫应用光学和精密工程研究所测量了我们当前生产的 633 nm 超级镜的总背散射(TSB,如 ISO 13696 中所述),并达到了 TSB = 1.1 ppm 的值。 < 15 ppm 的典型吸收和剩余透射率合计相当于至少 99.998% 的反射率。对于更长的波长,甚至可以达到 99.999%,这非常接近 R = 100% 的WM激光镜。

结果已通过我们的内部腔衰荡设置和散射测量得到证实。对于上述值,使用表面粗糙度 < 1 Å rms 的超抛光基板是必不可少的。用白光轮廓仪检查它们的质量。下面是一些测量值:


Scatter TSB

Absorption

Reflection CRD

HR 532 nm / 0°

4.9 ppm1) (int. ARS)

10.2 ppm 2)

> 99.997% 2) (T~5 ppm)

HR 633 nm / 0°

1.1 ppm 1)


> 99.998% (T~5 ppm)

HR 1064 nm / 0°

(< 1 ppm) 3)

< 2 ppm 4)

> 99.999% (T~5 ppm)

HR 2940 nm / 0°

24 ±12 ppm6)

99.994% 5) (T=36 ppm)

1) Measured at IOF Jena;

2) Measured at LZH;

3) Calculated from surface roughness;

4) Measured at ILT Aachen;

5) measured by customer;

6) 1-R-T

工作波长
1650nm
反射率
>99.99%
技术参数

材质

红外级熔融石英 Infrasil

形状

圆形

直径(Ø)

50.8(-0.1 mm)

厚度(t)

9.5 mm (±0.1 mm)

边缘厚度

9.5 mm

平行度

5ʹ



Guaranteed Roughness

Flatness

Availability

Premium

RMS<0.2 nm*(<2Å)

<λ/20

Ø12.7-25 mm
always 2,000 pcs.on stock
(various radii and plane)

superpolished

RMS<0.1 nm*(<1Å)

<λ/10

on request

* Tested with Zygo NewView 9000 within sample length 3- 1000 um


光学参数

正面(S2)

光学参数

背面(S1)

形状

凹面

形状

平面

曲率半径

1,000 mm (±1 %)

倒角

0.3 mm (±0.1 mm)

倒角

0.3 mm (±0.1 mm)

测试区 Øe

20

测试区 Øe

20

曲面容差

3/0.2(0.2) [L/10 @546.1nm]

曲面容差

3/-(0.2) [L/10 reg. @546.1nm]

清洁度

5/2x0.04; L1x0.004

清洁度

5/2x0.04; L1x0.004




我们的测试方案:

测试曲线

AR(0°,1600-1700nm)<0.25%

HR(0°,1600-1700nm)>99.99%, T(0°,1650nm)~0.002% (Low Loss)


定制产品提供参数示例

通用参数

型号列表

波长

基片材料

数量

直径(英寸)

曲率

反射率

入射角

光楔

PN #

2327

Infrasil 302

7

0.5"

1m ROC

> 99.99 %

0

None

CRD-126-49-2327

2004

Infrasil 302

3

1.0"

1m ROC

> 99.99 %

0

None

CRD-246-49-2004

2050

Infrasil 302

1

0.5"

1m ROC

> 99.99 %

0

None

CRD-126-49-2050

1742

Infrasil 302

5

0.5"

1m ROC

> 99.99 %

0

None

CRD-126-49-1742

1650

Corning 7980

5

0.5"

1m ROC

> 99.99 %

0

None

CRD-126-49-1650

1600

Corning 7980

9

0.5"

1m ROC

> 99.99 %

0

None

CRD-126-49-1600

1550

Corning 7980

10

0.5"

1m ROC

>99.99%

0

None

CRD-126-49-1550

1550

Corning 7980

2

1.0"

1m ROC

>99.99%

0

None

CRD-246-49-1550

1512

Corning 7980

2

0.5"

1m ROC

>99.99%

0

None

CRD-126-49-1512

1434

Infrasil 302

1

1.0"

1m ROC

>99.99%

0

None

CRD-246-49-1434

0760

Corning 7980

1

0.5"

1m ROC

> 99.995 %

0

None

CRD-126-49-0760

0760

Corning 7980

4

1.0"

1m ROC

> 99.995 %

0

None

CRD-126-49-0760

1392

Corning 7980

1

0.5"

1m ROC

> 99.99 %

0

30ʹ

CRD-126-49-1392

0633

Corning 7980

1

1.0"

1m ROC

> 99.99 %

0

None

CRD-246-49-0633

1064

Corning 7980

1

1.0"

1m ROC

> 99.99 %

0

None

CRD-246-49-1064


产品优势
工作波长 1650nm;反射率>99.99% 直径 50.8X;厚度9mm
产品直通车
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