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FEMTO SCIENCE 等离子清洗机 CUTE 频率可调
- 品牌:FEMTO SCIENCE
- 型号: CUTE
- 产地:韩国
- 供应商报价: ¥ 1
- 旭阿科技(上海)有限公司 更新时间:2023-11-09 09:56:37
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企业性质授权代理商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- FEMTO SCIENCE 等离子清洗机 CUTE 频率可调 核心参数
- 详细介绍
CUTE系列是Femto Science Inc.’s公司小型桌面真空等离子设备,可以为各种需要等离子表面处理的材料提供有效的解决方案。
该设备可用于 等离子清洗,等离子活化,等离子蚀刻 等材料表面处理。
一、产品特点:
1、 等离子蚀刻 (中性主导)
2、 铝制腔体140*200*110mm(W*D*H)
3、 等离子发生器20~100KHz,功率 100W可调
4、 流量控制器(Max100sccm,最多3个通道)
二、系统配置:
1、 外形尺寸:440×500×560 mm(长×宽×高)
2、主系统:
内部尺寸:140x200x110 mm(WxDxH)
•均匀气流设计
• PE模式(单电极)
•真空流量计:皮拉尼(约5x10-4Torr)
3、流量控制器(MFC):
•高重复性MFC
•数量:2(Forx2气体管路)
•工艺气体:O2、Ar、N2、空气等气体都可使用/气体流量:Max100sccm(以1 sccm为增量可调)
4、发生器:
•频率范围:20~100 kHz(以10 kHz为增量可调)
•功率:最大100W(1 W增量可调)
5、控制软件:
•整个系统具有高度可控性的交互式用户界面
•7英寸触摸式彩色屏,工业级PC系统软件控制
•手动和全自动模式(最多10个预先存储的工艺配方)
• USB闪存数据传输
6接口:
气路接口为1/4“接头紧锁螺母
7配件:
真空泵,国产飞越
- 产品优势
- 发生器频率可调,1、 等离子蚀刻 (中性主导)
2、 铝制腔体140*200*110mm(W*D*H)
3、 等离子发生器20~100KHz,功率 100W可调
4、 流量控制器(最大100sccm,最多3个通道)
自动化: | 自动 | 样品腔尺寸: | 140x200x110 mm |
样品腔容积: | 3L | 射频功率: | 100W |
频率: | 20-100Khz |