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INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空计 353-502

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详细介绍



INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空计  353-502

 

INFICON B-A型皮拉尼复合真空计, BPG400, 两个真空计复合在一个小型单元中测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压). 复合技术降低了安装,设置和集成的复杂性. 选 BPG400 用于可及的和可再现的过程, 在一个经济的真空计组件中执行基本的压强测量.

 

优势:

极宽的测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压)

过程压强范围从 10-8 … 10-2 毫巴,再现性 5%

皮拉尼联锁保护 B-A型系统防止灯丝过早烧毁和来自高压强运行的过度污染

长寿命的涂敷氧化钇的铱灯丝

可选图形显示器和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预

RoHS 兼容性

 

用途: 

在半导体过程和传送室中的压强测量

工业镀膜

在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制

 

 

技术规格

型号
灯丝

BPG400
单-涂铱氧化钇灯丝

BPG402-S
双-涂铱氧化钇灯丝

BCG450
涂铱氧化钇灯丝/电容薄膜

测量范围

5 × 10E-10至1000 mabr

5 × 10E-10至1500 mabr

精度(N2)
10E-8至10-2mbar(BPG400/BPG402-S)
10E-8至50mbar(仅BCG450)
50至950 mbar(仅BCG450)
950至1050 mbar(仅BCG450)

±15%读数

±15%读数
±5%读数
±2%读数

重复性
10E-8至10-2mbar

±5%读数

除气
P<7.2 × 10E-6mbar

电子轰击,至多3分钟

输出信号

电压范围:0至+10V模拟;可选RS485,Profibus-DP,DevicenNet

电源电压
直流/安培

+20至+28Vdc
0.8A

电气连接件

D-sub 15针;Profibus-DP/RS485(D-sub 9针+15针);DeviceNet标准接头

工作温度

+0至+50℃

烘烤温度(未工作)
法兰处
延伸件
移除电子部分


80℃
150℃
150℃

防护等级

IP30

 

订货号:

BPG400 B-A型皮拉尼真空计  DN 40 CF-R    353-502


产品优势
INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空计 353-502
INFICON B-A型皮拉尼复合真空计, BPG400, 两个真空计复合在一个小型单元中测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压). 复合技术降低了安装,设置和集成的复杂性. 选 BPG400 用于可及的和可再现的过程, 在一个经济的真空计组件中执行基本的压强测量.
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