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等离子体表面处理仪EMS1050（低温灰化仪）
- 品牌：美国EMS
- 型号： EMS1050
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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海德创业（北京）生物科技有限公司
更新时间：2018-10-31 10:02:42 -
企业性质授权代理商
入驻年限第9年
营业执照已审核
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- 标签： 1050灰化仪，英国QUORUM低温灰化仪，英国低温灰化仪Q1050，煤灰化，EMS低温灰化仪
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- 详细介绍
EMS1050 低温灰化仪
应用领域：
l 生物芯片领域
l 医用材料、光学材料研究
l 电子半导体领域
l 高分子材料研究
l 电化学、高端零部件处理
l 有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能：
l 自动调频高频发生器
l 内置旋转真空泵
l 此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀
l 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
l 真空监测.
l 双重气流针阀控制
l 精确时间定时
l 微处理器程序设置
l LCD状态数字显示
l 腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便
l 聚碳酸脂安全防护
技术参数：
电镜有机样本的刻蚀尺寸
450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)
工作腔室
派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)
(硼硅酸盐玻璃为标准配置)
重量
25Kg
等离子体输出
最大150w，13.56 MHz 。
等离子体输出
最大150w，13.56 MHz 。
真空度
>ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
时间控制
最长可设置99小时59分钟
双重气流控制
双重针阀气流控制，可选1种或2种气体（校准 5-100cm3/min air at A.T.P)
电源
230 V， 50Hz (3 amp Max)
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