大粒径粒子计数器
集成空气品质模组
制冷剂(R290)泄漏监测气体传感器
四方仪器 红外气体传感器 Gasboard-2061 半导体行业薄膜沉积工艺CVD设备的EPD气体检测
四方仪器 红外气体传感器 半导体行业薄膜沉积工艺CVD设备的EPD气体检测 Gasboard-2060
可输出0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm、10μm粒子个数(pcs/28.3L)
工业级激光器,可靠性高
体积小、便于安装
满足JJF 1190要求
激光粒子计数传感器技术参数
| 检测原理 | 光散射原理 |
| 检测粒径范围 | 0.3~10μm |
| 计数效率 | 50%@0.3μm 100%@>0.45μm (以Lighthouse Solair 3100作 为参考,25±2℃,50±10%RH 环境条件) |
| 计数重复性 | ≤5% |
| 自净时间 | ≤5 min |
| 允许蕞大工作浓度 | 1000000 pcs/28.3L@0.3um |
| 数据刷新频率 | 1s |
| 工作条件 | 0~40℃;5~95%RH(无凝结) |
| 储存条件 | -10~50℃;5~95%RH(无凝结) |
| 工作电压 | DC 5V±0.2V,纹波<100mV |
| 平均工作电流 | <250mA |
| 通讯接口 | UART_TTL(3.3V) |
| 产品尺寸 | W99.2*H66*D 41.7mm |
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