2000℃温度可控型30KW感应加热炉

产品型号

2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。

2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到3.8×10E-5torr。

5、迷你型浮子流量计精度为4%。

6、配有双级旋片机械泵（2L/s），可使石英管内真空度达到10E-2torr。

技术参数

感应加热器

1、工作电压：三相AC 380V 50Hz（需60A空气开关）

2、工作电流：7Amps-70Amps（需100A空气开关）

3、功率：ZD振荡功率30KW，ZD输入功率15KW

4、输出频率：30KHz-110KHz

5、占空比：80%

6、感应线圈：内径Ø220 mm，高65 mm

7、空气冷却：后风扇

温度控制器及热电偶

1、工作电压：AC208V-240V 单相

2、控温精度：±3℃

3、热电偶：C型，外径Ø1/4"，长10"

4、连续工作温度范围：1000℃-2000℃

5、ZD升温速率：4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）

石墨坩埚（易耗件）

1、高纯石墨坩埚：外径Ø114mm，内径Ø100mm，高142mm

2、ZD容量：样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2，ZD质量为4kg（以铁标定）

3、保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从内至外分别为石墨毡（可耐温2200℃）-氧化铝（可耐温1700℃）-高温毡，总厚度为32mm

石英管和密封法兰

1、石英管：两端开口，外径Ø216mm，内径Ø208mm，长500mm

2、顶部法兰：采用不锈钢折叠式法兰，装有防腐型真空计、不锈钢截止阀，设有1个1/4"的铠装接口（可插入热电偶至石英管内部，更准确地测量样品温度）

3、底部法兰：设有KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接

水冷机

1、温度：5℃-30℃

2、水流速：>16L/min

3、水箱容积：12L，采用不锈钢制作

4、水压：≥0.1MPa

5、流量：≥5L/min

（建议使用特定的冷却剂液以达到ZJ的冷却效果）

真空泵

工作电压：AC208V-240V单相

移动炉架

尺寸：700mm×1000mm×700mm，钢框架结构，方便移动感应加热器和带法兰的石英管

产品规格

注意事项

操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，流量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压，若气压超过安全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。

其他事项

本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。请参看下图。