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多通道质子流量计控制系统
- 品牌：沈阳科晶
- 型号： GSL-LCD(控制面板为触摸屏）
- 产地：沈阳
- 供应商报价： 面议
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沈阳科晶自动化设备有限公司
更新时间：2024-04-26 08:08:29 -
企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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联系方式：吴女士024-23826163
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- 详细介绍
GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜ZD可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
产品型号
GSL-LCD(控制面板为触摸屏）
技术参数
功能
双通道
三通道
四通道
五通道
质子流量控制器
工作温度：5~45ºC
ZD压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用工作温度：5~45 ºC
ZD压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用工作温度: 5~45 ºC
ZD压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用工作温度: 5~45 ºC
ZD压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制产品规格
外形尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
输入电源
AC 220V/50Hz单相
功 率
23W
PLC触摸屏
各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上
RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制
机械压力表
有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接
量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
针 阀
316 不锈钢
通气管道
内部连接管道为1/4”不锈钢管
外部通气管道为1/4”聚四氟管
混气罐
Φ80X120mm
截止阀及配件
316不锈钢针阀
Φ1/4” 不锈钢管
