测量头 搭载彩色激光/ 接触探头

型号

LM-X100TL

类型

测量头

拍摄元件

1 型 2000 万像素 黑白CMOS

受光镜头

双远心镜头

图像测量

视野

广视野测量模式

325 mm × 175 mm

高精度测量模式

306 mm × 156 mm

最小显示单位

0.1 μm

重复精度

视野内(2σ)

广视野测量模式

±0.5 μm

高精度测量模式

±0.1 μm

有座标台移动

X/Y 轴

±0.9 μm

XY 平面

测量精度

视野内(2σ)

广视野测量模式

±2 μm ^*1

高精度测量模式

±0.7 μm ^*2

有座标台移动

X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE)

±（1.8 + 0.02 L）μm ^*3

XY 平面(EUXY , MPE)

±（2.8 + 0.02 L）μm ^*3

AF 高度测量

重复精度

±2 μm

测量精度（EUZ,MPE）

±（4.8 + 0.04 L）μm ^*4

激光高度测量

可测量范围（XY）

239 mm × 146 mm

最小显示单位

0.1 μm

重复精度

±0.6 μm ^*5

测量精度（EUZ,MPE）

±（4.8 + 0.04 L）μm ^*4

光点直径

ø50 μm

激光等级

Class 1

接触探头测量

可测量范围（XY）

248 mm × 141 mm

测量力

0.015 N ^*6

最小显示单位

0.1 μm

重复精度

X/Y 轴

±1.4 μm

XY 平面

Z 轴

测量精度

X/Y 轴（EUX,MPE EUY,MPE）

±（2.8 + 0.02 L）μm ^*7

XY 平面（EUXY,MPE）

±（3.8 + 0.02 L）μm ^*7

Z 轴（EUZ,MPE）

±（4.8 + 0.04 L）μm ^*4

外部遥控输入

无电压输入（有接点/ 无接点）

外部输出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 输出
额定负载24 VDC、0.5 A
ON 电阻 50 mΩ 以下

照明系统

透过

绿色LED 远心透过照明

落射

彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明（电动）
绿色LED 缝隙环状（指向性）侧射照明（电动）
白色LED 远心同轴照明

外部照明控制

光量控制

PWM 控制 100 kHz

输出电压

12 VDC

输出电流

1.6 A（ZD）

XY 座标台

移动范围

300 mm × 150 mm
（电动）

承受负重

7 kg

Z 座标台

移动范围

75 mm（电动）

电源

电源电压

100 至240 VAC ±10％（50/60 Hz）

消耗功率

150 VA 以下

环境抗耐性

环境温度

+10 至35° C ^*8

相对湿度

20 至80%RH（无凝结）

过电压类别

Ⅱ

污染等级

2

重量

约35 kg

^*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时
^*2 在5 mm × 5 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时
^*3 参考ISO10360-7，于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C、座标台载重2 kg 以下时，L 为XY 座标台移动量（mm）
^*4 参考ISO10360-7，面- 点高度、使用环境温度+23±1° C、测量目标物的ZD高度设定在50 mm 以下时，L 为Z 座标台移动量（mm）
^*5 使用环境温度为+23±1° C 时测量基恩士标准目标物
^*6 代表值
^*7 参考ISO10360-7，使用环境温度+23 ±1° C、座标台载重2 kg 以下时，L 为XY 座标台移动量（mm）
^*8 XY 座标台移动速度80 mm/s 时为+15 至35° C