精密型组合式手动探针台

产品简介

探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。

技术优势

• 模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；

• 探针台整体位移精度达3um，样品台四维精密调节；

• 兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试；

• 兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降；

• 漏电精度可达10pA/100fA/10fA（屏蔽箱内）；

• 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；

• 满足1um以上电极/PAD使用；

• 加宽探针架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；

• 搭配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种位移行程及驱动方式。

通用参数

参考图

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。

测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。

应用领域：

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。