飞纳台式扫描电镜电镜能谱一体机 ProX

飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是的集成化成像分析系统。借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分。

研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX系统中。

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

Phenom ProX 电镜能谱一体机具有飞纳系列全自动操作、15 秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3 年更换灯丝等特点，无需防震环境，可放置在任意楼层，能谱无外接部件，无需液氮冷却。

主要参数

光学显微镜：放大20-135倍

电子显微镜：130,000倍

探测器：高灵敏度四分割背散射电子探测器

灯丝材料：1,500小时CeB6灯丝

分辨率：优于14 nm

放置环境：采用专业防震设计，可摆放于普通实验室或办公室、厂房

加速电压：5kV-15kV连续可调

抽真空时间：小于15秒

探测元素范围：B（5）- Am（95）号元素

能谱探测器：硅漂移探测器（SDD）

冷却方式：无液氮 Peltier 效应电制冷

能量分辨率：<137eV（MnKaα）

探测器晶体活性面积：25mm2

Phenom ProX电镜能谱一体机可选配所有的样品杯选件和所有的拓展功能软件选件。