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JKZC-DSH系列双面探针台

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详细介绍

JKZC-DSH系列双面探针台

产品概要

JKZC-DSH系列探针台是我司自主研发的一款双面探针台,可完成12英寸晶圆的正反面点针测试。在具备常 规探针台的功能基础上,可用于晶圆和PCB板的测试,对晶圆或者PCB板正面和背面同时扎针以实现各种 光/电性能测试需求的测试,或背面点针,正面收集光线等,运用十分丰富。该定制探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工程学,以及多项升级功能。此设备在激光器,LD/LED/PD的光强/波长测试等 方面得到了广泛运用。如果您的产品也有双面点针,或者背面点针的需求,此款产品。

技术特点

•双层设计,可正反面同时点针,可同时加载DC和RF信号;

•卡盘大手柄双驱动,省时,省力,省心,可升级360度快速移动;

•加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术,结构性能稳定。

JKZC-DSH系列双面探针台.jpg

I详细参数

产品型号

技术参数

JKZC-DSH6

JKZC-DSH8

JKZC-DSH12

台体

主体材料

航空铝

航空铝

航空铝

整机尺寸mm)

750L*550W*680H

800L*580W*680H

930L*700W*680H

重量

85kg

100kg

160 kg

卡盘大小

6" ,360度转动,可微调

8",360度转动,可微调

12",360度转动,可微调

卡盘XY轴行程

6"*6",精度 10um

8"*8",精度 10um

12"*12",精度 10um

卡盘Z轴行程

快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米

卡盘材质

高透射玻璃或者镂空

固定方式

机械式压片固定或者真空吸附,尺寸可调

其他功能

带标准接地保护,可升级

针座平台

类型

双面点针平台,单个平台最多■可放置8个JKZC-DR/L-100探针座

材质

U型平台,Q235镀鎳,带接地端子,带接地端子

正面光学系统

显微镜类型

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统

倍率范围

16X~200X/40X~280X/20X~4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸,精度lum

CCD成像系统

2k或者4K相机,帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能

背面光学系统

显微镜类型

L型单筒显微镜

倍率范围

0.75X-5X

显微镜行程

40X-280X (可选高倍物镜增加倍率)

CCD成像系统

21<或者4K相机,帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能

探针座

种类

丝杆型/微分头型/经济型探针座

XYZ行程

12.5 mm-12.5 mm-12.5 mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um

夹具

漏电精度

同轴夹具10pA/H轴夹具lOOfA

接口形式

同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率/半自动

电力需求

220W50HZ



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