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液冷制冷机
- 品牌：上海普泰克制冷
- 型号： PTLQ
- 产地：金山区
- 供应商报价： ¥ 16888
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普泰克(上海)制冷设备技术有限公司
更新时间：2024-04-09 15:09:14 -
企业性质生产商
入驻年限第1年
营业执照已审核
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- 详细介绍
设备控温范围：-80℃~200℃
Chuck盘面控制温度：-60℃
温度稳定性：±0.1℃
制冷系统：采用双极压缩制冷系统
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷机
型号 液冷制冷机 设备名称 PTHC系列低温液冷机 制冷方式 双级复叠制冷 操作面板 7英寸彩色触摸屏，中文显示，操作简便 、显示直观， 可显示 、记录 温度曲线和测试数据 载冷剂 氟化液或硅油 全密闭系统 管道材质：SUS304，采用全密闭式结构设计 介质温度范围 -80℃ ~ 200℃ 温度精度 出口温度±0.5 ℃ 温度稳定性 ± 0.1 ℃ 温度反馈 设备导热介质温度反馈PT100 (回口温度 、 出口温度) ，控晶圆测试chuck盘温度 控温对象 设备导热介质出口温度 (可选择控制物料温度) 显示分辨率 0.01K 通信协议 MODBUS RTU协议、RS 485接口+以太网接口 外部输入 外置测温传感器端口 、USB数据接口 存储功能 试验执行时， 可实时显示图形曲线， 显示内容；温度设定实际值，执 行程序周期，程序执行中具有跳文件，保持功能。 冷凝方式 风冷 安全防护 设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断， 多项报警保护： 电源故 障 ，压缩机过载 、循环泵热过载 、制冷低压报警 、 制冷高压报警 、超 温 、温度模块故障 、 电加热防干烧设计等保护功能。 - 产品优势
- 应用于晶圆测试的高低温冷热台（晶圆测试载物台）chuck的加热制冷控温，载冷剂采用硅油或氟化液循环精确控温，液冷制冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却，向外界输送载热流体，满足工艺条件。
