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纳米平移台

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详细介绍

纳米平移台,纳米位移台,纳米定位台是孚光精仪提供的美国进口高精度低价格系列纳米平移台,采用了陶瓷伺服电机驱动,非常适合要求精度达到纳米或压纳米的高精度和高重复精度的应用,例如:精密生命科学仪器、显微成像、纳米准直、微纳加工、光学精确定位等。

X-TRIM系列纳米平移台是纳米精度系列位移台的一种,它采用先进技术设计, 具有单轴或精密的双轴配置两种选择, 它是一种小巧而高速高精度定位平台.


l 10nm分辨率非接触线性编码系统

l 双驱动任选:线性司服或压低驱动

l 高密度滚珠传导增加稳定性

l 超紧凑的单轴或双轴位移台

l 紧凑型封装


X-TRIM 系列纳米平移台特色

X-TRIM纳米平移台采用直接驱动线性电机,驱动轴位于位移台的中心线, 这种设计消除了非中心驱动导致的偏航等问题.

X-TRIM纳米平移台集成了一个高分辨率(12.5nm)非接触式线性编码器,它为封闭环形的伺服系统工作操作提供了精密反馈, 它的标准配置就可以提供纳米精度的定位.

X-TRIM纳米平移台非常适合OEM使用,它是一个模块化的纳米平移台,简单连接就可纳米精度定位,它非常适合高真空环境和非磁性定位系统应用.

纳米平移台参数

行程(mm): 2550mm(单周或双轴)

驱动系统: 非铁性线性电机或陶瓷伺服电机

最大加速度: 由负载决定

最大速度: 200mm/s (无负载时)

最大推力: 24N

最大负载: 2Kg

精度: +/-1uu/25mm

Z轴行程: 10mm40mm

TTL分辨率: 1-100nm/脉冲

构造材料: 铝合金主体, 灰色氧化镀膜

重复精度: 5倍精度


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